產品介紹：半(ban)導(dao)(dao)體(ti)清洗機(ji)(ji)請認準(zhun)江蘇芯(xin)夢半(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備有限公(gong)司，經營(ying)各類半(ban)導(dao)(dao)體(ti)清洗機(ji)(ji)，為國內半(ban)導(dao)(dao)體(ti)清洗機(ji)(ji)專業(ye)供應(ying)商，其中就(jiu)包含FOUP清洗機(ji)(ji)。

FOUP清(qing)洗(xi)(xi)機(ji)是一種自動的(de)離心清(qing)洗(xi)(xi)機(ji)，適用于(yu)所有類型的(de)晶圓料(liao)盒（SmifFoup、Fosb、Cassette）,可以(yi)實(shi)現良好(hao)的(de)清(qing)洗(xi)(xi)和(he)干(gan)燥效果。裝(zhuang)載有待(dai)清(qing)洗(xi)(xi)的(de)foup,在(zai)Chamber的(de)中心轉軸上(shang)安(an)裝(zhuang)和(he)固定,在(zai)封閉的(de)清(qing)洗(xi)(xi)室內360°正反(fan)轉動。由(you)DIWater的(de)表面張力、機(ji)械力進(jin)行Particle清(qing)洗(xi)(xi),離心＋熱風進(jin)行烘干(gan)等(deng)工(gong)藝組成，高效率、高質量完成foup的(de)Particle清(qing)洗(xi)(xi)。

設備特點：

●多(duo)達十段清洗流程設定,工藝(yi)窗(chuang)口(kou)更寬；

●含(han)有自動執(zhi)行(xing)狀(zhuang)態顯示，快速檢視狀(zhuang)態及工作時間；

●扭(niu)力(li)偵(zhen)測轉籃卡榫未定(ding)位保護，降低因人為(wei)導致設備損壞；

●主軸以伺服馬達(da)控(kong)制達(da)到穩定(ding)加減速(su)及轉速(su)數值化設(she)定(ding)控(kong)制；

●旋(xuan)轉(zhuan)式離心清洗，可(ke)正反調速(su)旋(xuan)轉(zhuan)，清理(li)產(chan)品(pin)表面的附著殘留(liu)；

●以(yi)IR烘烤加速干燥時(shi)間,無任何水份殘留(liu)；

●采用流(liu)體(二流(liu)體選(xuan)項)的(de)清洗模式，能有效的(de)去處微小的(de)污染(ran)物；

●操作程序PLC控制可(ke)按作業需求自由調整，方便快捷，人性化設計。

應用范圍：

該設(she)備主(zhu)要用于半導體制程(cheng)的Foup、Fosb、Cassette的Particle清(qing)洗。

芯夢半(ban)導體(ti)為您量(liang)身(shen)打造專業清洗解(jie)決方(fang)案！黑龍江半(ban)自動(dong)FOUP清洗機大概價格

FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)工藝流(liu)程(cheng)可(ke)以根據具體的(de)(de)(de)(de)(de)設備和(he)(he)應用(yong)需(xu)(xu)(xu)求有所不(bu)同，但(dan)通(tong)常(chang)包(bao)括(kuo)以下基本步(bu)驟(zou)：上(shang)料：將(jiang)待清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)FOUP放(fang)置到清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)載區域(yu)。如(ru)果(guo)是(shi)全自動(dong)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)，可(ke)以通(tong)過(guo)自動(dong)上(shang)料系(xi)統將(jiang)FOUP自動(dong)送入清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)。預洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)：在清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)開始階段，可(ke)能(neng)會進行(xing)預洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)步(bu)驟(zou)。預洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)去(qu)除(chu)(chu)(chu)表面(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)較(jiao)大顆粒、雜質和(he)(he)粉塵等(deng)，并準(zhun)備好FOUP的(de)(de)(de)(de)(de)進一步(bu)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)。主(zhu)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)：主(zhu)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)是(shi)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)步(bu)驟(zou)。在主(zhu)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)過(guo)程(cheng)中，清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)會使用(yong)特定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)介質（如(ru)去(qu)離子(zi)水、溶(rong)劑或(huo)酸(suan)堿溶(rong)液等(deng)），通(tong)過(guo)噴(pen)淋、超聲波或(huo)噴(pen)淋刷洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)等(deng)方式，徹底去(qu)除(chu)(chu)(chu)FOUP表面(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)污染物。漂洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)：主(zhu)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)后(hou)(hou)，可(ke)能(neng)需(xu)(xu)(xu)要(yao)(yao)進行(xing)漂洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)步(bu)驟(zou)。漂洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)去(qu)除(chu)(chu)(chu)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)介質殘留物，以及進一步(bu)凈化FOUP。漂洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)通(tong)常(chang)使用(yong)純凈水或(huo)其他(ta)適當的(de)(de)(de)(de)(de)溶(rong)劑進行(xing)。烘干：在清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)完成(cheng)后(hou)(hou)，需(xu)(xu)(xu)要(yao)(yao)將(jiang)FOUP表面(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)水分徹底去(qu)除(chu)(chu)(chu)，以確保(bao)FOUP的(de)(de)(de)(de)(de)干燥(zao)。烘干過(guo)程(cheng)可(ke)以通(tong)過(guo)加(jia)熱、氣流(liu)或(huo)真空等(deng)方式實(shi)現。卸料：完成(cheng)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)和(he)(he)烘干后(hou)(hou)，清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)會自動(dong)或(huo)手動(dong)將(jiang)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)好的(de)(de)(de)(de)(de)FOUP從清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)區域(yu)移(yi)除(chu)(chu)(chu)。對(dui)于(yu)全自動(dong)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)，可(ke)以通(tong)過(guo)自動(dong)卸料系(xi)統將(jiang)FOUP取(qu)出。湖(hu)北FOSB清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)現貨江(jiang)蘇芯夢(meng)期待與您共同解決晶圓盒清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)(xi)問題(ti)！

提供各(ge)種半導(dao)體片盒、FOUP、FOSB清(qing)(qing)潔(jie)方案客戶定制清(qing)(qing)洗(xi)方案做(zuo)到360度無(wu)死角(jiao)清(qing)(qing)洗(xi)，并防止細菌滋(zi)生(sheng)專項研發雙(shuang)流體旋轉噴射清(qing)(qing)洗(xi)方式，實現超微(wei)精密清(qing)(qing)洗(xi)，節(jie)能設(she)計;高效干燥(zao)技(ji)術，AMC化合物去除技(ji)術全生(sheng)產(chan)過程(cheng)實時監控，兼(jian)容自動傳輸系統(AMHS);SEMI通訊標(biao)(biao)準(zhun)兼(jian)容GEM300，符合SEMIS2、S8標(biao)(biao)準(zhun)高產(chan)量，占(zhan)地面積設(she)計。

我(wo)們(men)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)盒(he)清(qing)洗(xi)機(ji)配備了高精(jing)度的(de)(de)(de)傳感器和(he)控制(zhi)系統，能夠(gou)精(jing)確控制(zhi)清(qing)洗(xi)和(he)干(gan)燥的(de)(de)(de)時(shi)間和(he)溫度，確保清(qing)洗(xi)和(he)干(gan)燥的(de)(de)(de)效(xiao)果穩(wen)定可(ke)靠。同時(shi)，我(wo)們(men)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)盒(he)清(qing)洗(xi)機(ji)具有多(duo)種智能功能，能夠(gou)自(zi)動識別晶(jing)(jing)圓(yuan)盒(he)類型，自(zi)動調(diao)整清(qing)洗(xi)和(he)干(gan)燥的(de)(de)(de)參數，提(ti)高生(sheng)產效(xiao)率。操作簡單，維護方(fang)便，降低使用成本。選擇我(wo)們(men)的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)盒(he)清(qing)洗(xi)機(ji)，讓(rang)您的(de)(de)(de)晶(jing)(jing)圓(yuan)生(sheng)產更加高效(xiao)！

產品說明

8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清(qing)(qing)洗(xi)平臺，適用于先進封裝(zhuang)制程的(de)particle、有(you)機、無機、助焊劑等污染物清(qing)(qing)洗(xi)。可選配二流體、megasonic、超高壓噴洗(xi)、RCA 、Hot water及蒸(zheng)氣等清(qing)(qing)洗(xi)方式，清(qing)(qing)洗(xi)工(gong)藝(yi)窗口(kou)寬，清(qing)(qing)洗(xi)能力強(qiang)，占地面積小，性價(jia)比高等特點。

功能說明

制程均(jun)勻度可用 recipe 調控。

良率優于 wet bench type。

單片模式之機況(kuang)可(ke)控制可(ke)追溯。

制(zhi)程個別參數易于調整。

可(ke)控(kong)制之(zhi)藥液量使用,能(neng)保持每片芯片之(zhi)相同制程(cheng)環境。

潔凈度(du)控制(zhi)優于批次生產。

Footprint 較小。

適用于 wafer dry in / dry out制(zhi)程。

機臺之安全(quan)性(xing)優(you)于 bench type。

為(wei)未來濕(shi)式高階設備之(zhi)主(zhu)流(liu)機(ji)臺。我(wo)司設備的(de)功能(neng)(neng)和性能(neng)(neng)已經得(de)到了廣大用戶(hu)的(de)認可和好評。

半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)具有(you)以(yi)下特點：人(ren)(ren)工操作(zuo)(zuo)(zuo)：半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)需(xu)(xu)要(yao)一(yi)定程度(du)上的(de)(de)(de)(de)人(ren)(ren)工操作(zuo)(zuo)(zuo)。例如，上料(liao)和卸料(liao)通(tong)(tong)(tong)常(chang)(chang)(chang)需(xu)(xu)要(yao)操作(zuo)(zuo)(zuo)員手動(dong)(dong)(dong)(dong)放置(zhi)和取出FOUP。這些操作(zuo)(zuo)(zuo)可能涉及到打開(kai)和關閉清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)門、調整(zheng)夾持裝置(zhi)等。相比全自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)，半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)需(xu)(xu)要(yao)更(geng)多(duo)的(de)(de)(de)(de)人(ren)(ren)工參與。靈(ling)活性(xing)：半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)通(tong)(tong)(tong)常(chang)(chang)(chang)具有(you)較(jiao)(jiao)高的(de)(de)(de)(de)靈(ling)活性(xing)。操作(zuo)(zuo)(zuo)員可以(yi)根據(ju)需(xu)(xu)要(yao)進(jin)行調整(zheng)和設(she)置(zhi)，例如清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)程序、清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)介(jie)質、時(shi)間和溫(wen)度(du)等。這使得半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)適(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)于(yu)處(chu)理不(bu)同(tong)類型的(de)(de)(de)(de)FOUP和不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)(de)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)需(xu)(xu)求。監控和控制：半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)通(tong)(tong)(tong)常(chang)(chang)(chang)配備了監控和控制系統(tong)，用(yong)(yong)(yong)于(yu)檢測和調整(zheng)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)過(guo)程中的(de)(de)(de)(de)參數(shu)。這可以(yi)確保清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)準確性(xing)和一(yi)致性(xing)。較(jiao)(jiao)低(di)(di)(di)的(de)(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)本(ben)(ben)：相對(dui)于(yu)全自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)，半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)通(tong)(tong)(tong)常(chang)(chang)(chang)具有(you)更(geng)低(di)(di)(di)的(de)(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)本(ben)(ben)。這是因為半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)設(she)備不(bu)需(xu)(xu)要(yao)具備完全自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)化(hua)的(de)(de)(de)(de)功(gong)能，如自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)上料(liao)和卸料(liao)等。因此，半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)可以(yi)是一(yi)種(zhong)經濟實惠的(de)(de)(de)(de)選擇，適(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)于(yu)預算有(you)限的(de)(de)(de)(de)情(qing)況。適(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)于(yu)小規模(mo)需(xu)(xu)求：由于(yu)靈(ling)活性(xing)和較(jiao)(jiao)低(di)(di)(di)的(de)(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)本(ben)(ben)，半(ban)自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)通(tong)(tong)(tong)常(chang)(chang)(chang)適(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)于(yu)處(chu)理小規模(mo)的(de)(de)(de)(de)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)需(xu)(xu)求。它們可以(yi)在(zai)相對(dui)較(jiao)(jiao)小的(de)(de)(de)(de)空(kong)間內進(jin)行操作(zuo)(zuo)(zuo)，適(shi)(shi)用(yong)(yong)(yong)于(yu)小型實驗室(shi)、研發環境或生產(chan)線中的(de)(de)(de)(de)小規模(mo)生產(chan)。芯夢(meng)產(chan)品采用(yong)(yong)(yong)智能化(hua)設(she)計，滿(man)足你對(dui)生產(chan)的(de)(de)(de)(de)多(duo)重(zhong)需(xu)(xu)求！甘(gan)肅全自(zi)(zi)(zi)(zi)動(dong)(dong)(dong)(dong)FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)商家

芯夢設備具有高度定制化功(gong)能，滿足你不同生產需(xu)求！黑龍江半自動FOUP清洗(xi)機大概價格

FOUP清(qing)洗機是(shi)用(yong)于(yu)清(qing)洗半導體(ti)(ti)制(zhi)(zhi)造中(zhong)的FOUP（Front Opening Unified Pod）的設備。FOUP是(shi)用(yong)于(yu)存放半導體(ti)(ti)晶圓的封(feng)閉式容器(qi)，在(zai)半導體(ti)(ti)制(zhi)(zhi)造過(guo)程中(zhong)起到(dao)了關鍵的作用(yong)。FOUP清(qing)洗機的主要功能是(shi)清(qing)洗FOUP，確保(bao)FOUP內部的潔凈度，以保(bao)證半導體(ti)(ti)晶圓在(zai)制(zhi)(zhi)造過(guo)程中(zhong)不受到(dao)污染。

功能配(pei)置:管路(lu)配(pei)置:壓力檢(jian)(jian)測(ce)(ce)系(xi)(xi)統(tong)(tong)、流(liu)量檢(jian)(jian)測(ce)(ce)系(xi)(xi)統(tong)(tong)、溫度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)系(xi)(xi)統(tong)(tong)、漏(lou)液檢(jian)(jian)測(ce)(ce)系(xi)(xi)統(tong)(tong)加熱系(xi)(xi)統(tong)(tong):閉(bi)環(huan)溫控、超溫切斷、微曲(qu)線加熱算(suan)法(fa)(fa)、宕(dang)機(ji)應(ying)急閉(bi)環(huan)等系(xi)(xi)統(tong)(tong)真空(kong)與N平(ping)衡(heng)系(xi)(xi)統(tong)(tong):真空(kong)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)監控保壓系(xi)(xi)統(tong)(tong)、N平(ping)配(pei)比凈(jing)化(hua)系(xi)(xi)統(tong)(tong)NPurge系(xi)(xi)統(tong)(tong):溫濕度(du)高速檢(jian)(jian)測(ce)(ce)系(xi)(xi)統(tong)(tong)、平(ping)衡(heng)FOUP壓力與溫濕度(du)算(suan)法(fa)(fa)Robot安全控制(zhi)系(xi)(xi)統(tong)(tong):設置空(kong)間安全虛(xu)擬圍欄、曲(qu)線算(suan)法(fa)(fa)路(lu)徑空(kong)FOUP檢(jian)(jian)測(ce)(ce)系(xi)(xi)統(tong)(tong):FOUP物(wu)料感知系(xi)(xi)統(tong)(tong)、檢(jian)(jian)測(ce)(ce)FOUP進料狀(zhuang)態(tai)RFID數(shu)據系(xi)(xi)統(tong)(tong):FOUP實時(shi)狀(zhuang)態(tai)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)黑龍江半自(zi)動FOUP清洗機(ji)大概價格

江蘇(su)芯(xin)夢半導(dao)(dao)體(ti)設(she)備有限(xian)公司專注(zhu)于為襯底、集(ji)成(cheng)電路和先進(jin)(jin)封裝(zhuang)等領域提供先進(jin)(jin)濕法制程裝(zhuang)備及工藝的(de)(de)解決方案。我們(men)的(de)(de)主(zhu)要產品(pin)涵蓋全(quan)自(zi)(zi)動(dong)晶圓級ENEPIG化學(xue)鍍(du)設(she)備、全(quan)自(zi)(zi)動(dong)晶圓盒(he)清洗機、全(quan)自(zi)(zi)動(dong)單(dan)片清洗機、以及單(dan)片電鍍(du)機等。芯(xin)夢始終(zhong)秉持技術創新的(de)(de)理念，不斷攻克創新產品(pin)技術，踐行在微納領域用先進(jin)(jin)技術護家(jia)(jia)強國(guo)(guo)的(de)(de)企(qi)業(ye)使命。我們(men)引以為傲的(de)(de)是國(guo)(guo)內(nei)首(shou)臺(tai)全(quan)自(zi)(zi)動(dong)ENEPIG化學(xue)鍍(du)設(she)備，該設(she)備成(cheng)功打破了(le)國(guo)(guo)外(wai)的(de)(de)壟斷，目前在國(guo)(guo)內(nei)市(shi)場占有率(lv)超過80%，積累了(le)數十個(ge)在國(guo)(guo)內(nei)半導(dao)(dao)體(ti)行業(ye)的(de)(de)成(cheng)功案例。我們(men)還自(zi)(zi)主(zhu)研(yan)發了(le)國(guo)(guo)內(nei)首(shou)臺(tai)全(quan)自(zi)(zi)動(dong)晶圓盒(he)清洗機，成(cheng)功打破了(le)國(guo)(guo)外(wai)的(de)(de)壟斷，并(bing)已(yi)在國(guo)(guo)內(nei)多家(jia)(jia)半導(dao)(dao)體(ti)企(qi)業(ye)中得到廣泛應用。

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