中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)擁有(you)龐(pang)大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)制造(zao)業，是世界(jie)弟一工(gong)業機(ji)(ji)器人(ren)(ren)市(shi)場，有(you)著1000多家與(yu)工(gong)業機(ji)(ji)器人(ren)(ren)相關的(de)(de)(de)(de)(de)企業。但是現階段中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)在(zai)機(ji)(ji)械(xie)(xie)臂(bei)制造(zao)領域處于(yu)(yu)大(da)而(er)不(bu)強的(de)(de)(de)(de)(de)狀態(tai)。擁有(you)自(zi)主(zhu)品(pin)牌(pai)的(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)業機(ji)(ji)械(xie)(xie)臂(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)數量和市(shi)場占(zhan)有(you)份額(e)偏低。現在(zai)國(guo)(guo)內很多機(ji)(ji)器人(ren)(ren)企業有(you)很多都(dou)不(bu)是在(zai)真心實意(yi)地(di)在(zai)做技(ji)術，很多都(dou)是跟(gen)著國(guo)(guo)家提出的(de)(de)(de)(de)(de)中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)未(wei)來(lai)制造(zao)的(de)(de)(de)(de)(de)政策與(yu)支持來(lai)進行獲利(li)的(de)(de)(de)(de)(de)。而(er)且很多符合精度要(yao)求(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)關鍵零(ling)部件(jian)很大(da)程度上依賴于(yu)(yu)進口。所(suo)以，中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)的(de)(de)(de)(de)(de)機(ji)(ji)械(xie)(xie)臂(bei)在(zai)技(ji)術方(fang)面遠遠落后(hou)于(yu)(yu)國(guo)(guo)外(wai)，占(zhan)有(you)的(de)(de)(de)(de)(de)只(zhi)是低端(duan)市(shi)場的(de)(de)(de)(de)(de)份額(e)。不(bu)過(guo)，在(zai)非民用機(ji)(ji)器人(ren)(ren)與(yu)航天(tian)機(ji)(ji)械(xie)(xie)臂(bei)領域，中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)的(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)術也不(bu)遜色于(yu)(yu)美(mei)國(guo)(guo)。所(suo)以說只(zhi)要(yao)經過(guo)技(ji)術的(de)(de)(de)(de)(de)積累(lei)，中(zhong)(zhong)國(guo)(guo)的(de)(de)(de)(de)(de)機(ji)(ji)械(xie)(xie)臂(bei)技(ji)術也會不(bu)比國(guo)(guo)外(wai)的(de)(de)(de)(de)(de)差多少。與(yu)剛性機(ji)(ji)械(xie)(xie)臂(bei)相比較，柔性機(ji)(ji)械(xie)(xie)臂(bei)具有(you)結構輕、載重(zhong)/自(zi)重(zhong)比高等特性。江門(men)晶(jing)圓運送機(ji)(ji)械(xie)(xie)吸臂(bei)批發零(ling)售(shou)價

與傳統(tong)的(de)(de)(de)(de)SCARA型(xing)搬運機(ji)械(xie)(xie)手相(xiang)比，蛙(wa)腿型(xing)機(ji)械(xie)(xie)手的(de)(de)(de)(de)傳動機(ji)構更(geng)(geng)簡單(dan)，剛性更(geng)(geng)高，且工作(zuo)效(xiao)率更(geng)(geng)高。如上圖所示，蛙(wa)腿型(xing)機(ji)械(xie)(xie)手手臂(bei)(bei)(bei)為(wei)對(dui)稱(cheng)雙連桿的(de)(de)(de)(de)并聯結構，包括1對(dui)大臂(bei)(bei)(bei)和2對(dui)小(xiao)臂(bei)(bei)(bei)。2個(ge)(ge)直驅電機(ji)分別通(tong)過(guo)2個(ge)(ge)同(tong)軸(zhou)的(de)(de)(de)(de)旋(xuan)轉軸(zhou)連接(jie)大臂(bei)(bei)(bei)，大臂(bei)(bei)(bei)末端(duan)通(tong)過(guo)4個(ge)(ge)旋(xuan)轉軸(zhou)連接(jie)尺寸相(xiang)同(tong)的(de)(de)(de)(de)2對(dui)小(xiao)臂(bei)(bei)(bei)，2對(dui)小(xiao)臂(bei)(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)末端(duan)又通(tong)過(guo)2個(ge)(ge)旋(xuan)轉軸(zhou)連接(jie)晶圓(yuan)(yuan)托盤。 該機(ji)械(xie)(xie)手雖然只有(you)3個(ge)(ge)電機(ji)，但(dan)水(shui)平連桿卻有(you)10個(ge)(ge)旋(xuan)轉關(guan)節，因此(ci)對(dui)整個(ge)(ge)真空(kong)機(ji)械(xie)(xie)手建立旋(xuan)轉關(guan)節坐(zuo)標(biao)與末端(duan)晶圓(yuan)(yuan)托盤坐(zuo)標(biao)之間的(de)(de)(de)(de)函(han)數(shu)關(guan)系(xi)是一個(ge)(ge)復雜的(de)(de)(de)(de)過(guo)程江門新款晶圓(yuan)(yuan)運送機(ji)械(xie)(xie)吸臂(bei)(bei)(bei)銷售詞(ci)機(ji)械(xie)(xie)手要獲得(de)較高的(de)(de)(de)(de)位置精(jing)度，除采用先進的(de)(de)(de)(de)控制方法(fa)外(wai)，在(zai)結構上還注意(yi)以下幾個(ge)(ge)問題；

建(jian)模理(li)(li)論柔(rou)性(xing)機械(xie)臂(bei)動(dong)(dong)(dong)力(li)學方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)建(jian)立(li)主(zhu)要(yao)是(shi)(shi)利用(yong)Lagrange方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)和(he)NeWton-Euler方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)這兩個(ge)相當有代表性(xing)的(de)方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)。另外比(bi)較(jiao)(jiao)常(chang)用(yong)的(de)還有變(bian)分(fen)(fen)原(yuan)(yuan)理(li)(li),虛(xu)位移原(yuan)(yuan)理(li)(li)以(yi)及(ji)Kane方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)方(fang)(fang)(fang)(fang)法(fa)。而柔(rou)性(xing)體變(bian)形(xing)的(de)描(miao)述(shu)(shu)是(shi)(shi)柔(rou)性(xing)機械(xie)臂(bei)系(xi)統(tong)(tong)建(jian)模與(yu)控制的(de)基(ji)礎。因此因首先選(xuan)擇一定(ding)的(de)方(fang)(fang)(fang)(fang)式描(miao)述(shu)(shu)柔(rou)性(xing)體的(de)變(bian)形(xing)，同(tong)時變(bian)形(xing)的(de)描(miao)述(shu)(shu)與(yu)系(xi)統(tong)(tong)動(dong)(dong)(dong)力(li)學方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)求解關系(xi)密(mi)切(qie)。[3]柔(rou)性(xing)體變(bian)形(xing)的(de)描(miao)述(shu)(shu)主(zhu)要(yao)有以(yi)下幾(ji)種(zhong)：1)有限元(yuan)法(fa)；2)有限段(duan)法(fa)；3)模態(tai)綜合法(fa)；4)集中質量法(fa)；動(dong)(dong)(dong)力(li)學方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)的(de)建(jian)立(li)無(wu)論是(shi)(shi)連(lian)續或離散的(de)動(dong)(dong)(dong)力(li)學模型，其(qi)建(jian)模方(fang)(fang)(fang)(fang)法(fa)主(zhu)要(yao)基(ji)于兩類基(ji)本方(fang)(fang)(fang)(fang)法(fa)：矢量力(li)學法(fa)和(he)分(fen)(fen)析力(li)學法(fa)。應用(yong)較(jiao)(jiao)同(tong)時也是(shi)(shi)比(bi)較(jiao)(jiao)成熟的(de)是(shi)(shi)Newton-Euler公式、Lagrange方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)、變(bian)分(fen)(fen)原(yuan)(yuan)理(li)(li)、虛(xu)位移原(yuan)(yuan)理(li)(li)和(he)Kane方(fang)(fang)(fang)(fang)程(cheng)(cheng)(cheng)。

工(gong)(gong)(gong)業(ye)機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)臂是(shi)(shi)擬人(ren)手(shou)(shou)臂、手(shou)(shou)腕(wan)和(he)手(shou)(shou)功能 的(de)機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)電子裝置。擬人(ren)手(shou)(shou)臂、手(shou)(shou)腕(wan)和(he)手(shou)(shou)功能的(de)機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)電子裝置；它(ta)可(ke)把任一(yi)物(wu)件(jian)(jian)或(huo)工(gong)(gong)(gong)具按空間位(wei)(wei)姿（位(wei)(wei)置和(he)姿態）的(de)時變要(yao)求進(jin)行移動(dong)，從(cong)而(er)完成(cheng)某一(yi)工(gong)(gong)(gong)業(ye)生產的(de)作(zuo)業(ye)要(yao)求。如夾持焊鉗(qian)或(huo)焊，對(dui)汽車或(huo)摩托車車體進(jin)行了點焊或(huo)弧(hu)焊；搬運壓鑄或(huo)沖壓成(cheng)型的(de)零件(jian)(jian)或(huo)構(gou)件(jian)(jian)；進(jin)行激(ji)光(guang)切割；噴涂；裝配機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)零部(bu)(bu)件(jian)(jian)等等。機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)臂是(shi)(shi)“ROBOT”一(yi)詞的(de)中(zhong)文譯(yi)名。由(you)于(yu)影視宣傳和(he)科幻小說的(de)影響，人(ren)們往往把機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)臂想像成(cheng)外(wai)貌(mao)似人(ren)的(de)機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)和(he)電子裝置。但(dan)事實并不是(shi)(shi)這樣，特別是(shi)(shi)工(gong)(gong)(gong)業(ye)機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)臂，與(yu)人(ren)的(de)外(wai)貌(mao)往往毫無相(xiang)似之處。根據國家標準，工(gong)(gong)(gong)業(ye)機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)臂定義為“其(qi)操作(zuo)機(ji)(ji)(ji)是(shi)(shi)自動(dong)控制的(de)，可(ke)重復編程(cheng)、多用(yong)途，并可(ke)以(yi)對(dui)3個(ge)以(yi)上軸進(jin)行編程(cheng)。它(ta)可(ke)以(yi)是(shi)(shi)固定式或(huo)者移動(dong)式。在(zai)工(gong)(gong)(gong)業(ye)自動(dong)化應用(yong)中(zhong)使用(yong)”。操作(zuo)機(ji)(ji)(ji)又(you)定義為“是(shi)(shi)一(yi)種機(ji)(ji)(ji)器，其(qi)機(ji)(ji)(ji)構(gou)通常由(you)一(yi)系列相(xiang)互鉸接或(huo)相(xiang)對(dui)滑動(dong)的(de)構(gou)件(jian)(jian)所(suo)組(zu)成(cheng)。其(qi)特征在(zai)于(yu)：所(suo)述機(ji)(ji)(ji)械(xie)(xie)臂包括內部(bu)(bu)具有真空腔體的(de)鋁合金平板(ban).

本(ben)發(fa)明針對現有技術中的不(bu)足，提供(gong)了一種晶圓搬運機械(xie)手，本(ben)發(fa)明的機械(xie)手在傳(chuan)送過(guo)程中晶片中心始(shi)終保證直(zhi)線運動，且角度(du)不(bu)會發(fa)生改變。從而提高機械(xie)手整體剛度(du)和承(cheng)重(zhong)能(neng)力，同時提高了重(zhong)復定位(wei)精度(du)。本(ben)發(fa)明結構合理(li)性能(neng)穩定，維護方(fang)便，多功能(neng)集一身，可滿足多種工(gong)藝(yi)設備要求，適用于各種半(ban)導體設備。

為了解(jie)(jie)決(jue)上述(shu)技(ji)術問題，本發(fa)明(ming)通過下述(shu)技(ji)術方(fang)案得以解(jie)(jie)決(jue)：一種晶圓(yuan)搬運(yun)(yun)機(ji)(ji)(ji)械手，包(bao)括升降軸(zhou)、旋轉軸(zhou)和(he)伸(shen)展(zhan)(zhan)軸(zhou)，其特征(zheng)為，所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)伸(shen)展(zhan)(zhan)軸(zhou)包(bao)括伸(shen)展(zhan)(zhan)電機(ji)(ji)(ji)、一級(ji)(ji)伸(shen)展(zhan)(zhan)臂(bei)、二(er)級(ji)(ji)伸(shen)展(zhan)(zhan)臂(bei)和(he)手指(zhi)固(gu)(gu)定座(zuo)(zuo)(zuo)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)一級(ji)(ji)伸(shen)展(zhan)(zhan)臂(bei)與所(suo)(suo)(suo)述(shu)伸(shen)展(zhan)(zhan)電機(ji)(ji)(ji)之(zhi)(zhi)間設置有(you)一級(ji)(ji)關(guan)節，所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)一級(ji)(ji)伸(shen)展(zhan)(zhan)臂(bei)與所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)二(er)級(ji)(ji)伸(shen)展(zhan)(zhan)臂(bei)之(zhi)(zhi)間設置有(you)二(er)級(ji)(ji)關(guan)節，所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)二(er)級(ji)(ji)伸(shen)展(zhan)(zhan)臂(bei)和(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)手指(zhi)固(gu)(gu)定座(zuo)(zuo)(zuo)之(zhi)(zhi)間設置有(you)三級(ji)(ji)關(guan)節，所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)伸(shen)展(zhan)(zhan)電機(ji)(ji)(ji)、所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)一級(ji)(ji)關(guan)節、所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)二(er)級(ji)(ji)關(guan)節和(he)所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)三級(ji)(ji)關(guan)節依次傳動(dong)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)的(de)(de)(de)手指(zhi)固(gu)(gu)定座(zuo)(zuo)(zuo)始終保持直線運(yun)(yun)動(dong)。實現柔性機(ji)(ji)(ji)械臂(bei)高精度有(you)效(xiao)控(kong)制(zhi)也必須考慮系統動(dong)力學(xue)特性。江門(men)新款晶圓(yuan)運(yun)(yun)送機(ji)(ji)(ji)械吸臂(bei)銷售詞

機械(xie)手臂的應用場景有哪些呢？江(jiang)門晶(jing)圓運送機械(xie)吸臂批發零售價

環境決(jue)定”——技術發展導致其實(shi)，除了晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓的(de)生長(chang)方(fang)法決(jue)定的(de)“晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓”是(shi)圓形(xing)(xing)(xing)的(de)這(zhe)個原因之外，還有(you)以(yi)(yi)下3條其他的(de)決(jue)定因素(su)：2??有(you)人計算過，比(bi)(bi)較(jiao)直徑為L毫米(mi)的(de)圓和邊長(chang)為L毫米(mi)的(de)正方(fang)形(xing)(xing)(xing)，考慮晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓制(zhi)(zhi)造過程(cheng)中(zhong)邊緣5到8毫米(mi)是(shi)不(bu)可(ke)利用(yong)(yong)的(de)，算算就知道(dao)正方(fang)形(xing)(xing)(xing)浪費(fei)的(de)使用(yong)(yong)面積(ji)比(bi)(bi)率是(shi)比(bi)(bi)圓型高(gao)的(de)。所以(yi)(yi)，圓形(xing)(xing)(xing)是(shi)等周長(chang)時(shi)表面積(ji)做大的(de)二維(wei)圖形(xing)(xing)(xing)，加(jia)工(gong)(gong)時(shi)能(neng)夠(gou)充(chong)分利用(yong)(yong)原料，在一片晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓上(shang)能(neng)分出**多的(de)芯片。3??在實(shi)際的(de)加(jia)工(gong)(gong)制(zhi)(zhi)成(cheng)當中(zhong)，圓形(xing)(xing)(xing)的(de)物體比(bi)(bi)較(jiao)便于生產操作。圓型具有(you)任意軸對稱性,這(zhe)是(shi)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓制(zhi)(zhi)作工(gong)(gong)藝必然的(de)要求(qiu)，可(ke)以(yi)(yi)想象一下，在圓型晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓表面可(ke)以(yi)(yi)通過旋(xuan)轉涂布法(spincoating，事(shi)實(shi)上(shang)是(shi)目前均勻涂布光刻(ke)膠的(de)方(fang)法)獲得很(hen)均勻一致的(de)光刻(ke)膠涂層，但其它形(xing)(xing)(xing)狀的(de)晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓呢？不(bu)可(ke)能(neng)或(huo)非常難，可(ke)以(yi)(yi)的(de)話也是(shi)成(cheng)本很(hen)高(gao)。江門晶(jing)(jing)(jing)(jing)圓運送(song)機械吸臂批發零售價

深圳(zhen)市(shi)德澳美精密制造有(you)限公司堅持“以人為本(ben)”的(de)(de)(de)企業(ye)理念，擁有(you)一支專業(ye)的(de)(de)(de)員(yuan)工(gong)(gong)隊(dui)伍，力求提供更(geng)好的(de)(de)(de)產品和服(fu)務回饋(kui)社(she)會，并歡(huan)迎廣大新老客(ke)戶(hu)光臨惠顧，真(zhen)誠合作、共創美好未來(lai)。德澳美——您(nin)可信賴的(de)(de)(de)朋友，公司地址：深圳(zhen)市(shi)龍華(hua)區(qu)龍華(hua)街道清湖社(she)區(qu)清湖安(an)之龍工(gong)(gong)業(ye)園B棟201。

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