FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）清(qing)洗(xi)(xi)(xi)設(she)備是用(yong)(yong)于清(qing)洗(xi)(xi)(xi)和(he)(he)處理半(ban)導體制(zhi)造中使(shi)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)FOUP（前開式統(tong)(tong)(tong)一載(zai)具(ju)）的(de)(de)(de)(de)設(she)備。FOUP是一種用(yong)(yong)于運輸(shu)和(he)(he)儲存半(ban)導體晶(jing)圓(yuan)的(de)(de)(de)(de)載(zai)具(ju)，通(tong)常(chang)(chang)(chang)由塑(su)料材料制(zhi)成，具(ju)有前開式設(she)計和(he)(he)統(tong)(tong)(tong)一的(de)(de)(de)(de)尺寸標準。FOUP清(qing)洗(xi)(xi)(xi)設(she)備的(de)(de)(de)(de)作用(yong)(yong)是將FOUP清(qing)洗(xi)(xi)(xi)干凈(jing)，去除(chu)表面的(de)(de)(de)(de)污染物(wu)和(he)(he)顆(ke)粒，以確保(bao)(bao)在半(ban)導體制(zhi)造過(guo)程中使(shi)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)晶(jing)圓(yuan)始(shi)終保(bao)(bao)持(chi)良好的(de)(de)(de)(de)潔凈(jing)度。FOUP清(qing)洗(xi)(xi)(xi)設(she)備通(tong)常(chang)(chang)(chang)具(ju)有以下主要組成部分：清(qing)洗(xi)(xi)(xi)艙：清(qing)洗(xi)(xi)(xi)艙是FOUP放置和(he)(he)清(qing)洗(xi)(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)區域。它(ta)通(tong)常(chang)(chang)(chang)包(bao)括一個容納FOUP的(de)(de)(de)(de)托盤或夾具(ju)，并配備噴淋裝(zhuang)置、超聲波清(qing)洗(xi)(xi)(xi)器(qi)、噴氣裝(zhuang)置等清(qing)洗(xi)(xi)(xi)裝(zhuang)置。氣流(liu)系(xi)統(tong)(tong)(tong)：氣流(liu)系(xi)統(tong)(tong)(tong)用(yong)(yong)于提供潔凈(jing)的(de)(de)(de)(de)氣流(liu)環境，以防止(zhi)新的(de)(de)(de)(de)顆(ke)粒進入(ru)FOUP。它(ta)通(tong)常(chang)(chang)(chang)包(bao)括高(gao)效過(guo)濾器(qi)和(he)(he)空氣凈(jing)化系(xi)統(tong)(tong)(tong)，以確保(bao)(bao)提供高(gao)質量的(de)(de)(de)(de)潔凈(jing)氣氛。控制(zhi)系(xi)統(tong)(tong)(tong)：控制(zhi)系(xi)統(tong)(tong)(tong)用(yong)(yong)于監控和(he)(he)控制(zhi)清(qing)洗(xi)(xi)(xi)設(she)備的(de)(de)(de)(de)運行(xing)。它(ta)包(bao)括傳感(gan)器(qi)、執(zhi)行(xing)器(qi)和(he)(he)計算機控制(zhi)單(dan)元，用(yong)(yong)于監測和(he)(he)調(diao)節清(qing)洗(xi)(xi)(xi)過(guo)程中的(de)(de)(de)(de)溫(wen)度、壓力(li)、時(shi)間(jian)等參數。水(shui)(shui)處理系(xi)統(tong)(tong)(tong)：水(shui)(shui)處理系(xi)統(tong)(tong)(tong)用(yong)(yong)于提供清(qing)潔的(de)(de)(de)(de)水(shui)(shui)源，用(yong)(yong)于清(qing)洗(xi)(xi)(xi)FOUP。它(ta)通(tong)常(chang)(chang)(chang)包(bao)括反滲透系(xi)統(tong)(tong)(tong)、離(li)子交換器(qi)和(he)(he)過(guo)濾器(qi)，以去除(chu)水(shui)(shui)中的(de)(de)(de)(de)離(li)子、顆(ke)粒和(he)(he)有機物(wu)。我司設(she)備具(ju)有高(gao)精度特點，確保(bao)(bao)生(sheng)產質量！甘肅全(quan)自動花(hua)籃(lan)清(qing)洗(xi)(xi)(xi)機大概價格

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