全自動晶圓盒(he)清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:適用(yong)場景：用(yong)DIW/有機(ji)(ji)溶劑(ji)（可(ke)(ke)選）實現FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)潔(jie)，通過高速(su)(su)旋轉(zhuan)(zhuan)/紅(hong)外燈管/CDA等(deng)(deng)多種技術實現FOUP干燥。設(she)(she)(she)備特點(dian)：清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)對(dui)象：6/8/12半(ban)自動FOUP/Cassette/POD。設(she)(she)(she)備主(zhu)要構(gou)成：旋轉(zhuan)(zhuan)鼠籠(便捷式(shi)可(ke)(ke)180°旋轉(zhuan)(zhuan)后固定結構(gou))、DIW噴淋系(xi)統(tong)、紅(hong)外加熱干燥系(xi)統(tong)、有機(ji)(ji)溶劑(ji)清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)系(xi)統(tong)（可(ke)(ke)選）等(deng)(deng)機(ji)(ji)構(gou)組成。清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)能力：8只(zhi)FOUP/小時（依配置的(de)清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)腔真空腔數量(liang)而(er)定）。干進干出。人(ren)(ren)工(gong)分(fen)離FOUP、POD，人(ren)(ren)工(gong)上(shang)下(xia)料及更換工(gong)裝。旋轉(zhuan)(zhuan)式(shi)離心清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)，可(ke)(ke)正反(fan)調速(su)(su)旋轉(zhuan)(zhuan)，對(dui)于產(chan)品(pin)表面的(de)附著殘(can)留(liu)物容易去除。工(gong)裝設(she)(she)(she)有防(fang)呆(dai)機(ji)(ji)構(gou)，防(fang)止人(ren)(ren)工(gong)將清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)件放置錯誤。鼠籠設(she)(she)(she)有旋轉(zhuan)(zhuan)到位防(fang)呆(dai)檢測。動平衡(heng)偵測轉(zhuan)(zhuan)籃未定位保(bao)護，降低因人(ren)(ren)為導致設(she)(she)(she)備損壞(huai)。主(zhu)軸(zhou)以伺(si)服馬達(da)控制(zhi)達(da)到穩(wen)定加減速(su)(su)及轉(zhuan)(zhuan)速(su)(su)數值化設(she)(she)(she)定控制(zhi)，主(zhu)軸(zhou)震(zhen)動值可(ke)(ke)監測。可(ke)(ke)預設(she)(she)(she)多條(tiao)Recipe，操作簡潔(jie)。選配SECS/GEM接口。可(ke)(ke)實現工(gong)件數據(ju)追溯，具有過點(dian)信息、狀態監控、故障匯(hui)總、訂單下(xia)發(fa)等(deng)(deng)功(gong)能。選擇我司設(she)(she)(she)備，讓(rang)你的(de)生產(chan)更加節能、環保(bao)！海(hai)南片盒(he)清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)(ji)供應商家

產品(pin)介紹：FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)是一種自動的(de)離心(xin)(xin)(xin)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)，適用于所有(you)類型的(de)晶(jing)圓(yuan)料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以(yi)實現良好的(de)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)和(he)干燥效果。 裝載(zai)有(you)待清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)的(de)foup,在Chamber的(de)中心(xin)(xin)(xin)轉軸上安裝和(he)固定,在封閉的(de)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)室內360 正(zheng) 反轉動。由DI Water的(de)表面張力、機(ji)(ji)械力進行Particle清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi), 離心(xin)(xin)(xin)＋熱風進行烘干等工(gong)藝組成，高(gao)效率、高(gao)質量完成foup的(de)ParticFOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji),Casstte清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji),FOSB清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji),離心(xin)(xin)(xin)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji),晶(jing)圓(yuan)清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji),清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)干燥,360正(zheng)反轉動清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji),離心(xin)(xin)(xin)熱風洪(hong)干清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)。湖(hu)南半(ban)自動FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)(xi)機(ji)(ji)怎么收費選(xuan)擇江(jiang)蘇芯夢設備，讓你的(de)生產更加(jia)智能化(hua)、自動化(hua)！

在FOUP內(nei)(nei)去(qu)除(chu)(chu)(chu)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)的(de)(de)(de)(de)方(fang)法(fa)可以(yi)(yi)(yi)采取多(duo)種措施(shi)，以(yi)(yi)(yi)下是(shi)一些(xie)常(chang)見的(de)(de)(de)(de)方(fang)法(fa)：噴氣(qi)清洗(xi)：使(shi)(shi)用壓縮空氣(qi)或氮氣(qi)等氣(qi)流，通(tong)過(guo)噴射到FOUP內(nei)(nei)部(bu)(bu)，將(jiang)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)從FOUP表(biao)面(mian)吹(chui)走。噴氣(qi)清洗(xi)可以(yi)(yi)(yi)通(tong)過(guo)噴嘴、噴氣(qi)等設(she)備來(lai)實(shi)現，通(tong)常(chang)結合(he)定向(xiang)氣(qi)流和適(shi)當(dang)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)流速度(du)，以(yi)(yi)(yi)有效(xiao)地去(qu)除(chu)(chu)(chu)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)。超(chao)聲波(bo)清洗(xi)：超(chao)聲波(bo)清洗(xi)是(shi)一種利用高頻聲波(bo)震動的(de)(de)(de)(de)方(fang)法(fa)，可以(yi)(yi)(yi)將(jiang)FOUP內(nei)(nei)的(de)(de)(de)(de)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)從表(biao)面(mian)剝離。超(chao)聲波(bo)的(de)(de)(de)(de)震動作(zuo)用可以(yi)(yi)(yi)在微小的(de)(de)(de)(de)尺度(du)上產生沖擊波(bo)，從而破壞顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)與FOUP表(biao)面(mian)的(de)(de)(de)(de)附(fu)著力，使(shi)(shi)其脫落(luo)。濕拭(shi)(shi)清洗(xi)：濕拭(shi)(shi)清洗(xi)使(shi)(shi)用濕潤(run)的(de)(de)(de)(de)擦(ca)(ca)拭(shi)(shi)布或棉簽等工具，直接(jie)擦(ca)(ca)拭(shi)(shi)FOUP的(de)(de)(de)(de)表(biao)面(mian)，將(jiang)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)吸附(fu)到擦(ca)(ca)拭(shi)(shi)物(wu)上。這(zhe)(zhe)種方(fang)法(fa)適(shi)用于(yu)較大或較粘(zhan)附(fu)的(de)(de)(de)(de)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)，可以(yi)(yi)(yi)通(tong)過(guo)多(duo)次擦(ca)(ca)拭(shi)(shi)和更(geng)換擦(ca)(ca)拭(shi)(shi)物(wu)來(lai)提高清潔效(xiao)果。靜(jing)(jing)電(dian)除(chu)(chu)(chu)塵(chen)：由(you)于(yu)FOUP的(de)(de)(de)(de)材料通(tong)常(chang)具有一定的(de)(de)(de)(de)靜(jing)(jing)電(dian)特性，可以(yi)(yi)(yi)利用靜(jing)(jing)電(dian)除(chu)(chu)(chu)塵(chen)技術去(qu)除(chu)(chu)(chu)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)。靜(jing)(jing)電(dian)除(chu)(chu)(chu)塵(chen)通(tong)常(chang)通(tong)過(guo)在FOUP內(nei)(nei)部(bu)(bu)放置靜(jing)(jing)電(dian)除(chu)(chu)(chu)塵(chen)裝置，利用靜(jing)(jing)電(dian)作(zuo)用將(jiang)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)吸附(fu)到帶(dai)(dai)電(dian)的(de)(de)(de)(de)部(bu)(bu)件(jian)上，然(ran)后移除(chu)(chu)(chu)這(zhe)(zhe)些(xie)帶(dai)(dai)電(dian)部(bu)(bu)件(jian)以(yi)(yi)(yi)去(qu)除(chu)(chu)(chu)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)。過(guo)濾器和過(guo)濾介質(zhi)：在FOUP的(de)(de)(de)(de)設(she)計中(zhong)，可以(yi)(yi)(yi)使(shi)(shi)用過(guo)濾器和過(guo)濾介質(zhi)來(lai)阻(zu)止(zhi)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)進入FOUP內(nei)(nei)部(bu)(bu)。這(zhe)(zhe)些(xie)過(guo)濾器通(tong)常(chang)位于(yu)FOUP的(de)(de)(de)(de)入口和出口處，以(yi)(yi)(yi)過(guo)濾空氣(qi)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)固體顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)和其他污染物(wu)，從而減少FOUP內(nei)(nei)的(de)(de)(de)(de)顆(ke)(ke)(ke)粒(li)(li)(li)(li)物(wu)數量。

FOUP內(nei)的(de)(de)(de)(de)污(wu)(wu)染(ran)(ran)物(wu)(wu)(wu)(wu)可以來自(zi)多(duo)個(ge)來源(yuan)，以下是其中(zhong)(zhong)一些(xie)(xie)常(chang)見(jian)的(de)(de)(de)(de)來源(yuan)：過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)殘(can)留物(wu)(wu)(wu)(wu)：在(zai)(zai)半導體(ti)制造過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)，涉及到(dao)各種化學物(wu)(wu)(wu)(wu)質、溶劑、清(qing)洗劑等。這(zhe)些(xie)(xie)物(wu)(wu)(wu)(wu)質可能(neng)在(zai)(zai)晶圓處理(li)過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)殘(can)留在(zai)(zai)FOUP內(nei)，成為污(wu)(wu)染(ran)(ran)物(wu)(wu)(wu)(wu)的(de)(de)(de)(de)來源(yuan)。顆(ke)(ke)粒(li)物(wu)(wu)(wu)(wu)：在(zai)(zai)半導體(ti)制造環境中(zhong)(zhong)，微小顆(ke)(ke)粒(li)是一個(ge)主要(yao)的(de)(de)(de)(de)污(wu)(wu)染(ran)(ran)源(yuan)。這(zhe)些(xie)(xie)顆(ke)(ke)粒(li)可以來自(zi)空(kong)氣中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)灰塵(chen)、工(gong)作環境的(de)(de)(de)(de)雜質、設(she)備的(de)(de)(de)(de)磨損(sun)等。這(zhe)些(xie)(xie)顆(ke)(ke)粒(li)物(wu)(wu)(wu)(wu)有可能(neng)通過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)FOUP的(de)(de)(de)(de)開口進(jin)入FOUP內(nei)部(bu)，導致(zhi)(zhi)污(wu)(wu)染(ran)(ran)。人為操作：在(zai)(zai)FOUP的(de)(de)(de)(de)處理(li)、維護和(he)運(yun)輸(shu)(shu)過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)，如果(guo)(guo)操作不當，例(li)如沒有正確(que)地清(qing)潔(jie)操作工(gong)具、使(shi)用臟手(shou)觸摸FOUP等，都會引入污(wu)(wu)染(ran)(ran)物(wu)(wu)(wu)(wu)。傳輸(shu)(shu)和(he)存(cun)(cun)(cun)儲(chu)過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)：FOUP在(zai)(zai)制造過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)需要(yao)經過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)多(duo)個(ge)環節的(de)(de)(de)(de)傳輸(shu)(shu)和(he)存(cun)(cun)(cun)儲(chu)，包括機器之間的(de)(de)(de)(de)傳輸(shu)(shu)、暫存(cun)(cun)(cun)庫等。在(zai)(zai)這(zhe)些(xie)(xie)過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)，如果(guo)(guo)傳輸(shu)(shu)設(she)備或存(cun)(cun)(cun)儲(chu)環境不潔(jie)凈，或者(zhe)FOUP密封不嚴(yan)密，都會導致(zhi)(zhi)污(wu)(wu)染(ran)(ran)物(wu)(wu)(wu)(wu)進(jin)入FOUP內(nei)。外部(bu)環境污(wu)(wu)染(ran)(ran)：FOUP在(zai)(zai)制造過(guo)(guo)(guo)(guo)(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)可能(neng)暴(bao)露在(zai)(zai)環境中(zhong)(zhong)，例(li)如在(zai)(zai)潔(jie)凈室(shi)內(nei)。如果(guo)(guo)潔(jie)凈室(shi)內(nei)的(de)(de)(de)(de)空(kong)氣質量(liang)不佳，存(cun)(cun)(cun)在(zai)(zai)空(kong)氣中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)微塵(chen)和(he)顆(ke)(ke)粒(li)物(wu)(wu)(wu)(wu)可能(neng)會進(jin)入FOUP內(nei)部(bu)，并成為污(wu)(wu)染(ran)(ran)源(yuan)。芯夢設(she)備采(cai)用先進(jin)的(de)(de)(de)(de)自(zi)動化控(kong)制技術，提(ti)升生(sheng)產效率！

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