針對靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸自身獨特的(de)(de)特點及(ji)極端實驗(yan)條件需求，使得靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸參(can)(can)(can)數的(de)(de)測(ce)(ce)(ce)試工作變得異常(chang)(chang)復雜(za)。如何精確地測(ce)(ce)(ce)定靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)(xue)參(can)(can)(can)數，一直是激光(guang)(guang)(guang)聚變研究者(zhe)非常(chang)(chang)關(guan)注的(de)(de)課(ke)題(ti)。由(you)于光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)(xue)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)(fa)(fa)(fa)具有(you)無損、非接觸、測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)效率高、操作簡便等優(you)越(yue)性，靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸參(can)(can)(can)數測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)通(tong)常(chang)(chang)采(cai)用(yong)光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)(xue)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方式。常(chang)(chang)用(yong)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)(xue)參(can)(can)(can)數測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)手段很多(duo)，目前，常(chang)(chang)用(yong)于測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸幾何參(can)(can)(can)數或光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)(xue)參(can)(can)(can)數的(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)(fa)(fa)(fa)有(you)白光(guang)(guang)(guang)干涉法(fa)(fa)(fa)(fa)、光(guang)(guang)(guang)學(xue)(xue)(xue)顯(xian)微(wei)干涉法(fa)(fa)(fa)(fa)、激光(guang)(guang)(guang)差(cha)動(dong)共焦(jiao)法(fa)(fa)(fa)(fa)等。靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸殼(ke)(ke)層(ceng)折射(she)率是沖(chong)擊波(bo)分時調(diao)控實驗(yan)研究中的(de)(de)重要參(can)(can)(can)數，因此，精密測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸殼(ke)(ke)層(ceng)折射(she)率十(shi)分有(you)意(yi)義。而(er)常(chang)(chang)用(yong)的(de)(de)折射(she)率測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)(fa)(fa)(fa)[13]，如橢圓偏振法(fa)(fa)(fa)(fa)、折射(she)率匹(pi)配(pei)法(fa)(fa)(fa)(fa)、白光(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)譜法(fa)(fa)(fa)(fa)、布儒斯特角法(fa)(fa)(fa)(fa)等。白光(guang)(guang)(guang)干涉膜厚(hou)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技術可(ke)以(yi)通(tong)過對干涉圖像的(de)(de)分析實現對薄膜的(de)(de)形(xing)貌(mao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。黃山防水膜厚(hou)儀

白(bai)光(guang)(guang)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)法克服了干(gan)(gan)涉(she)級(ji)次(ci)的(de)(de)(de)(de)模糊(hu)識別問題，具有動(dong)態測(ce)量(liang)(liang)(liang)范圍(wei)大，連續測(ce)量(liang)(liang)(liang)時波動(dong)范圍(wei)小的(de)(de)(de)(de)特點(dian)，但在實(shi)際測(ce)量(liang)(liang)(liang)中，由于(yu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)誤(wu)(wu)差(cha)、儀器(qi)誤(wu)(wu)差(cha)、擬合誤(wu)(wu)差(cha)等因素(su)，干(gan)(gan)涉(she)級(ji)次(ci)的(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)(liang)精度(du)仍其受影(ying)響(xiang)，會出現干(gan)(gan)擾(rao)級(ji)次(ci)的(de)(de)(de)(de)誤(wu)(wu)判和(he)干(gan)(gan)擾(rao)級(ji)次(ci)的(de)(de)(de)(de)跳變現象。導(dao)(dao)致公式計(ji)(ji)算得(de)到的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)擾(rao)級(ji)次(ci)m值與實(shi)際譜(pu)(pu)峰干(gan)(gan)涉(she)級(ji)次(ci)m'(整數)之間有誤(wu)(wu)差(cha)。為得(de)到準確(que)的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)涉(she)級(ji)次(ci)，本文依(yi)據干(gan)(gan)涉(she)級(ji)次(ci)的(de)(de)(de)(de)連續特性(xing)設計(ji)(ji)了以下校正流(liu)程圖，獲得(de)了靶(ba)丸殼層光(guang)(guang)學厚度(du)的(de)(de)(de)(de)精確(que)值。導(dao)(dao)入白(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)曲線。嘉定區膜厚儀價(jia)格走勢白(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)膜厚測(ce)量(liang)(liang)(liang)技(ji)術可以對薄膜的(de)(de)(de)(de)厚度(du)和(he)形(xing)貌進行(xing)聯合測(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)分析。

采用峰(feng)峰(feng)值法(fa)處理光(guang)(guang)(guang)(guang)譜數據時(shi)，被測(ce)光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)(cha)的(de)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)取決于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜儀或CCD的(de)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)。我們只需獲(huo)得相鄰的(de)兩(liang)干(gan)涉峰(feng)值處的(de)波(bo)長(chang)信(xin)息即(ji)可得出光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)(cha)，不(bu)(bu)必關心(xin)此波(bo)長(chang)處的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)強大小，從(cong)而降低數據處理的(de)難度。也可以利用多組相鄰的(de)干(gan)涉光(guang)(guang)(guang)(guang)譜極值對應的(de)波(bo)長(chang)來分(fen)(fen)別求出光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)(cha)，然后再求平均值作為(wei)測(ce)量光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)(cha)，這樣可以提高該方法(fa)的(de)測(ce)量精度。但是，峰(feng)峰(feng)值法(fa)存在著一些缺點：當(dang)使用寬帶光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)作為(wei)輸入光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)時(shi)，接收光(guang)(guang)(guang)(guang)譜中不(bu)(bu)可避(bi)免地疊加有與光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)同(tong)分(fen)(fen)布的(de)背景光(guang)(guang)(guang)(guang)，從(cong)而引起峰(feng)值處波(bo)長(chang)的(de)改變，引入測(ce)量誤差(cha)(cha)。同(tong)時(shi)，當(dang)兩(liang)干(gan)涉信(xin)號之間的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)(cha)很小，導致其(qi)干(gan)涉光(guang)(guang)(guang)(guang)譜只有一個干(gan)涉峰(feng)的(de)時(shi)候，此法(fa)便不(bu)(bu)再適用。

由于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)不(bu)同性質和(he)形(xing)態的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)對系(xi)統的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)量(liang)(liang)程和(he)精度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)需求不(bu)盡相同，因而(er)多種(zhong)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)(fa)各有優缺，難以(yi)一(yi)概而(er)論。將上(shang)(shang)述各測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)特點總結如表1-1所示，按(an)照薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)增(zeng)加(jia)，適(shi)用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方式分別為橢圓偏振(zhen)(zhen)法(fa)(fa)、分光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)度(du)(du)法(fa)(fa)、共(gong)聚焦法(fa)(fa)和(he)干涉(she)(she)(she)法(fa)(fa)。對于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)小于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)1μm的(de)(de)(de)(de)(de)較薄(bo)薄(bo)膜(mo)(mo)，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)輪(lun)廓儀的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精度(du)(du)較低(di)，分光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)度(du)(du)法(fa)(fa)和(he)橢圓偏振(zhen)(zhen)法(fa)(fa)較適(shi)合。而(er)對于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)小于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)200nm的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)，由于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)透(tou)過率曲線缺少峰谷(gu)值，橢圓偏振(zhen)(zhen)法(fa)(fa)結果更(geng)加(jia)可靠。基(ji)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)原(yuan)理的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)學薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方案(an)目(mu)前主要集中(zhong)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)透(tou)明(ming)或者半透(tou)明(ming)薄(bo)膜(mo)(mo)，通(tong)過使(shi)用(yong)不(bu)同的(de)(de)(de)(de)(de)解(jie)調(diao)(diao)技(ji)術(shu)處理白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)的(de)(de)(de)(de)(de)圖樣，得(de)到待測(ce)(ce)(ce)薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度(du)(du)。本章在(zai)詳細(xi)研(yan)究白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)術(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)常用(yong)解(jie)調(diao)(diao)方案(an)、解(jie)調(diao)(diao)原(yuan)理及(ji)其局限性的(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)礎上(shang)(shang)，分析得(de)到了常用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)基(ji)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)兩個相鄰干涉(she)(she)(she)峰的(de)(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)解(jie)調(diao)(diao)方案(an)不(bu)適(shi)用(yong)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)極短(duan)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)結論。在(zai)此基(ji)礎上(shang)(shang)，我們提出了基(ji)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)干涉(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜單峰值波(bo)長移動的(de)(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)解(jie)調(diao)(diao)技(ji)術(shu)。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)膜(mo)(mo)厚(hou)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)術(shu)可以(yi)應用(yong)于(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)激光(guang)(guang)(guang)(guang)加(jia)工(gong)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)吸(xi)收(shou)率測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。

為(wei)(wei)限(xian)度(du)提高靶(ba)丸內(nei)爆壓縮效(xiao)率，期望(wang)靶(ba)丸所有(you)幾何(he)參數(shu)、物性參數(shu)均為(wei)(wei)理想球對(dui)(dui)(dui)稱狀態。因此，需(xu)(xu)要對(dui)(dui)(dui)靶(ba)丸殼(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)度(du)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布進(jin)行精密的(de)檢測(ce)(ce)。靶(ba)丸殼(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)度(du)常用的(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)手法(fa)(fa)(fa)有(you)X射(she)線顯微輻照法(fa)(fa)(fa)、激光(guang)(guang)(guang)差(cha)(cha)動共焦法(fa)(fa)(fa)、白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)法(fa)(fa)(fa)等。下(xia)面分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)別(bie)介紹了各個方法(fa)(fa)(fa)的(de)特點與不足(zu)，以(yi)(yi)及各種測(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)(fa)(fa)的(de)應(ying)用領(ling)域。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)法(fa)(fa)(fa)[30]是以(yi)(yi)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)作為(wei)(wei)光(guang)(guang)(guang)源，寬光(guang)(guang)(guang)譜(pu)的(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)準直后經分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)棱鏡分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)成(cheng)兩(liang)束(shu)光(guang)(guang)(guang)，一束(shu)光(guang)(guang)(guang)入(ru)射(she)到(dao)(dao)參考鏡。一束(shu)光(guang)(guang)(guang)入(ru)射(she)到(dao)(dao)待測(ce)(ce)樣品(pin)。由計算機控制壓電陶瓷(ci)(PZT)沿Z軸方向(xiang)進(jin)行掃描(miao)，當兩(liang)路(lu)之間的(de)光(guang)(guang)(guang)程差(cha)(cha)為(wei)(wei)零時，在(zai)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)棱鏡匯聚(ju)后再次被分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)成(cheng)兩(liang)束(shu)，一束(shu)光(guang)(guang)(guang)通(tong)過光(guang)(guang)(guang)纖傳輸，并由光(guang)(guang)(guang)譜(pu)儀(yi)收集，另一束(shu)則被傳遞到(dao)(dao)CCD相機，用于樣品(pin)觀(guan)測(ce)(ce)。利用光(guang)(guang)(guang)譜(pu)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)析(xi)算法(fa)(fa)(fa)對(dui)(dui)(dui)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)信號圖進(jin)行分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)析(xi)得到(dao)(dao)薄膜(mo)的(de)厚(hou)(hou)度(du)。該(gai)方法(fa)(fa)(fa)能應(ying)用靶(ba)丸殼(ke)層(ceng)壁厚(hou)(hou)的(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)，但是該(gai)測(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)(fa)(fa)需(xu)(xu)要已知靶(ba)丸殼(ke)層(ceng)材(cai)料的(de)折射(she)率，同時，該(gai)方法(fa)(fa)(fa)也難(nan)以(yi)(yi)實現(xian)靶(ba)丸殼(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)度(du)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布的(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)膜(mo)厚(hou)(hou)測(ce)(ce)量(liang)(liang)技術可以(yi)(yi)通(tong)過對(dui)(dui)(dui)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)圖像的(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)析(xi)實現(xian)對(dui)(dui)(dui)薄膜(mo)的(de)表(biao)面和(he)內(nei)部結構測(ce)(ce)量(liang)(liang)。新鄉膜(mo)厚(hou)(hou)儀(yi)制造廠家

白光(guang)干涉(she)膜(mo)厚測量技術可(ke)以通過(guo)對干涉(she)圖像(xiang)的分析(xi)實(shi)現對不(bu)同材料的薄膜(mo)的測量和分析(xi)。黃山防水膜(mo)厚儀

目前(qian)，應用的顯(xian)微(wei)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉方式(shi)主要有Mirau顯(xian)微(wei)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉和Michelson顯(xian)微(wei)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉兩張方式(shi)。如圖(tu)2-5(a)所示Mirau型顯(xian)微(wei)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉結構，在該(gai)結構中物(wu)鏡和被(bei)測(ce)樣品之(zhi)間有兩塊平(ping)(ping)板(ban)，一個是(shi)涂覆(fu)有高反射膜(mo)的平(ping)(ping)板(ban)作為參考(kao)(kao)鏡，另一塊涂覆(fu)半(ban)透半(ban)反射膜(mo)的平(ping)(ping)板(ban)作為分光棱(leng)鏡，由于參考(kao)(kao)鏡位于物(wu)鏡和被(bei)測(ce)樣品之(zhi)間，從而使(shi)物(wu)鏡外(wai)殼(ke)更(geng)加緊(jin)湊，工作距(ju)離相對(dui)而言(yan)短一些，其倍率一般(ban)為10-50倍，Mirau顯(xian)微(wei)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉物(wu)鏡參考(kao)(kao)端(duan)使(shi)用與測(ce)量端(duan)相同顯(xian)微(wei)物(wu)鏡，因此沒有額(e)外(wai)的光程差。黃山防水膜(mo)厚(hou)儀

本文(wen)來自沈陽喜(xi)納多采暖工(gong)程有(you)限公司：//zjlong.cn/Article/95e399802.html