對(dui)同一靶(ba)丸相同位置進行白光(guang)(guang)(guang)(guang)垂(chui)(chui)(chui)直(zhi)掃(sao)描干(gan)(gan)涉(she)，圖(tu)4-3是(shi)靶(ba)丸的(de)(de)垂(chui)(chui)(chui)直(zhi)掃(sao)描干(gan)(gan)涉(she)示(shi)意圖(tu)，通(tong)過控制光(guang)(guang)(guang)(guang)學輪廓儀的(de)(de)運動(dong)機(ji)構(gou)(gou)帶(dai)動(dong)干(gan)(gan)涉(she)物鏡在垂(chui)(chui)(chui)直(zhi)方向上(shang)的(de)(de)移動(dong)，從而(er)測量(liang)(liang)到(dao)(dao)光(guang)(guang)(guang)(guang)線穿過靶(ba)丸后(hou)反(fan)射(she)到(dao)(dao)參(can)考鏡與到(dao)(dao)達基底直(zhi)接(jie)反(fan)射(she)回參(can)考鏡的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)線之間的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差，顯然，當(dang)一束平行光(guang)(guang)(guang)(guang)穿過靶(ba)丸后(hou)，偏離靶(ba)丸中心越遠的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)線，測量(liang)(liang)到(dao)(dao)的(de)(de)有效壁厚(hou)越大(da)，其光(guang)(guang)(guang)(guang)程差也(ye)越大(da)，但(dan)這并不表示(shi)靶(ba)丸殼層(ceng)的(de)(de)厚(hou)度，當(dang)垂(chui)(chui)(chui)直(zhi)穿過靶(ba)丸中心的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)線測得的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差才(cai)對(dui)應(ying)靶(ba)丸的(de)(de)上(shang)、下殼層(ceng)的(de)(de)厚(hou)度。白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)膜(mo)厚(hou)測量(liang)(liang)技術可以應(ying)用于材料科學中的(de)(de)薄膜(mo)微結構(gou)(gou)分(fen)析。潛(qian)江(jiang)膜(mo)厚(hou)儀主(zhu)要功能與優(you)勢(shi)

在白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)探(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)模塊中(zhong)，入射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)經過(guo)(guo)分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)鏡(jing)1分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)后(hou)，一部(bu)分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)通過(guo)(guo)物鏡(jing)聚焦到靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)表(biao)面(mian)，靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層(ceng)(ceng)上、下(xia)表(biao)面(mian)的(de)反(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)經過(guo)(guo)物鏡(jing)、分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)鏡(jing)1、聚焦透鏡(jing)、分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)鏡(jing)2后(hou)，一部(bu)分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)聚焦到光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)纖端(duan)面(mian)并(bing)到達光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)儀(yi)探(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)器(qi)，可(ke)(ke)實(shi)現靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層(ceng)(ceng)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干涉光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)的(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)，一部(bu)分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)到達CCD探(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)器(qi)，可(ke)(ke)獲得靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)表(biao)面(mian)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學圖像。靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)吸(xi)附轉位(wei)模塊和三維(wei)運(yun)動(dong)(dong)模塊分(fen)別用于(yu)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)的(de)吸(xi)附定(ding)(ding)位(wei)以及靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)特定(ding)(ding)角度(du)轉位(wei)以及靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)位(wei)置(zhi)(zhi)的(de)輔助調整(zheng)，測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)過(guo)(guo)程中(zhong)，將靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)放置(zhi)(zhi)于(yu)軸系吸(xi)嘴(zui)前(qian)(qian)端(duan)，通過(guo)(guo)微型真空泵負(fu)壓吸(xi)附于(yu)吸(xi)嘴(zui)上；然(ran)后(hou)，移(yi)動(dong)(dong)位(wei)移(yi)平(ping)臺(tai)(tai)，將靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)移(yi)動(dong)(dong)至CCD視場中(zhong)心(xin)(xin)，通過(guo)(guo)Z向位(wei)移(yi)臺(tai)(tai)，使靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)表(biao)面(mian)成(cheng)像清晰；利用光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)儀(yi)探(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層(ceng)(ceng)的(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)；靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)在軸系的(de)帶動(dong)(dong)下(xia)，平(ping)穩轉位(wei)到特定(ding)(ding)角度(du)，由于(yu)軸系的(de)回轉誤差，轉位(wei)后(hou)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)可(ke)(ke)能偏移(yi)CCD視場中(zhong)心(xin)(xin)，此(ci)時可(ke)(ke)通過(guo)(guo)調整(zheng)軸系前(qian)(qian)端(duan)的(de)調心(xin)(xin)結構，使靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)定(ding)(ding)點位(wei)于(yu)視場中(zhong)心(xin)(xin)并(bing)采集其白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)；重復以上步驟，可(ke)(ke)實(shi)現靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)特定(ding)(ding)位(wei)置(zhi)(zhi)或圓周輪廓白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)數據的(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)。為(wei)減少外界干擾和震動(dong)(dong)而引起的(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)誤差，該裝置(zhi)(zhi)放置(zhi)(zhi)于(yu)氣浮平(ping)臺(tai)(tai)上，通過(guo)(guo)高性能的(de)隔振(zhen)效果(guo)可(ke)(ke)保證測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)結果(guo)的(de)穩定(ding)(ding)性。湖北(bei)高速膜(mo)厚儀(yi)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干涉膜(mo)厚測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)技術可(ke)(ke)以應用于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學傳感器(qi)中(zhong)的(de)薄膜(mo)厚度(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)。

白(bai)(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)測量(liang)(liang)技術(shu)(shu)(shu)，也被稱(cheng)為光(guang)(guang)學低相干(gan)(gan)(gan)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)測量(liang)(liang)技術(shu)(shu)(shu)，使(shi)用的(de)(de)(de)是低相干(gan)(gan)(gan)的(de)(de)(de)寬譜光(guang)(guang)源(yuan)，例(li)如超(chao)輻射發(fa)光(guang)(guang)二極管(guan)、發(fa)光(guang)(guang)二極管(guan)等。同(tong)所有(you)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)學干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)原理(li)一樣(yang)，白(bai)(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)同(tong)樣(yang)是通(tong)過觀察干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)圖樣(yang)的(de)(de)(de)變化(hua)來分析干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)光(guang)(guang)程(cheng)差(cha)的(de)(de)(de)變化(hua)，進而(er)通(tong)過各種(zhong)解調方案實現對待測物(wu)理(li)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)測量(liang)(liang)。采用寬譜光(guang)(guang)源(yuan)的(de)(de)(de)優(you)(you)點是由于白(bai)(bai)光(guang)(guang)光(guang)(guang)源(yuan)的(de)(de)(de)相干(gan)(gan)(gan)長(chang)度很小（一般(ban)為幾微米(mi)到幾十微米(mi)之間），所有(you)波(bo)長(chang)的(de)(de)(de)零(ling)級干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)條(tiao)(tiao)紋重合于主極大值，即(ji)中(zhong)心(xin)條(tiao)(tiao)紋，與(yu)零(ling)光(guang)(guang)程(cheng)差(cha)的(de)(de)(de)位(wei)置對應。中(zhong)心(xin)零(ling)級干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)條(tiao)(tiao)紋的(de)(de)(de)存在(zai)使(shi)測量(liang)(liang)有(you)了一個(ge)可靠的(de)(de)(de)位(wei)置的(de)(de)(de)參考值，從而(er)只用一個(ge)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)儀(yi)即(ji)可實現對被測物(wu)理(li)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)測量(liang)(liang)，克服了傳統干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)儀(yi)無(wu)法實現測量(liang)(liang)的(de)(de)(de)缺點。同(tong)時，相比于其(qi)他測量(liang)(liang)技術(shu)(shu)(shu),白(bai)(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)測量(liang)(liang)方法還具有(you)對環(huan)境不敏(min)感、抗干(gan)(gan)(gan)擾能力強、測量(liang)(liang)的(de)(de)(de)動(dong)態范圍(wei)大、結構(gou)簡單(dan)和成本低廉等優(you)(you)點。目前，經(jing)過幾十年的(de)(de)(de)研究與(yu)發(fa)展，白(bai)(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)技術(shu)(shu)(shu)在(zai)膜厚、壓力、溫度、應變、位(wei)移等等測量(liang)(liang)領(ling)域已經(jing)得到廣泛的(de)(de)(de)應用。

白光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)在(zai)零光(guang)(guang)程(cheng)差處(chu)，出現零級(ji)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條(tiao)紋，隨(sui)著光(guang)(guang)程(cheng)差的(de)(de)(de)(de)(de)增加，光(guang)(guang)源譜(pu)寬范圍內的(de)(de)(de)(de)(de)每(mei)條(tiao)譜(pu)線(xian)各(ge)自(zi)形成的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條(tiao)紋之間互有偏移，疊加的(de)(de)(de)(de)(de)整體效果使條(tiao)紋對比度下(xia)降。測(ce)量(liang)精度高，可(ke)以實現測(ce)量(liang),采用白光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)原(yuan)理的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)系統的(de)(de)(de)(de)(de)抗干(gan)(gan)(gan)擾能力強，動態(tai)范圍大，具有快速檢(jian)(jian)測(ce)和(he)結構緊湊等優點。普通的(de)(de)(de)(de)(de)激光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)與白光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)之間雖(sui)然有差別，但也有很多的(de)(de)(de)(de)(de)共同之處(chu)。可(ke)以說，白光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)實際上(shang)就是將(jiang)白光(guang)(guang)看作一系列理想的(de)(de)(de)(de)(de)單色光(guang)(guang)在(zai)時域上(shang)的(de)(de)(de)(de)(de)相干(gan)(gan)(gan)疊加，在(zai)頻域上(shang)觀(guan)察到的(de)(de)(de)(de)(de)就是不(bu)同波(bo)長對應的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)光(guang)(guang)強變化曲線(xian)。白光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)膜(mo)(mo)厚測(ce)量(liang)技術可(ke)以通過對干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)圖(tu)像的(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)析實現對薄膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)缺陷檢(jian)(jian)測(ce)和(he)分(fen)析。

為限度提高(gao)靶丸(wan)(wan)(wan)內(nei)爆壓縮效率(lv)，期望(wang)靶丸(wan)(wan)(wan)所有幾何參數、物性參數均為理想球對(dui)(dui)(dui)稱狀(zhuang)態。因此，需(xu)要對(dui)(dui)(dui)靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)厚(hou)度分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布(bu)進(jin)行精(jing)密(mi)的(de)(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)(ce)。靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)厚(hou)度常用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)手(shou)法(fa)有X射線顯微輻照法(fa)、激光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)差動共焦法(fa)、白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干涉法(fa)等(deng)。下面分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)別介紹了各個方(fang)法(fa)的(de)(de)(de)(de)特點與(yu)不足，以及各種測(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)法(fa)的(de)(de)(de)(de)應用(yong)(yong)領域(yu)。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干涉法(fa)[30]是以白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作為光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，寬光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜的(de)(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)準直后經(jing)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)棱鏡分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)成兩束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，一束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)入射到參考(kao)鏡。一束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)入射到待測(ce)(ce)樣品。由計算機控制(zhi)壓電陶瓷(ci)(PZT)沿Z軸方(fang)向進(jin)行掃描，當(dang)兩路(lu)之間(jian)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差為零(ling)時(shi)，在分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)棱鏡匯聚后再次被分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)成兩束(shu)，一束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)通(tong)過光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)纖傳(chuan)輸，并(bing)由光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜儀收(shou)集，另(ling)一束(shu)則被傳(chuan)遞到CCD相機，用(yong)(yong)于樣品觀測(ce)(ce)。利用(yong)(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)析算法(fa)對(dui)(dui)(dui)干涉信號圖進(jin)行分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)析得(de)到薄(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)厚(hou)度。該(gai)方(fang)法(fa)能應用(yong)(yong)靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)壁厚(hou)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)，但是該(gai)測(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)法(fa)需(xu)要已知靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)材料(liao)的(de)(de)(de)(de)折射率(lv)，同時(shi)，該(gai)方(fang)法(fa)也(ye)難以實現(xian)靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)厚(hou)度分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)布(bu)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干涉膜(mo)厚(hou)測(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)術可以通(tong)過對(dui)(dui)(dui)干涉曲線的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)析實現(xian)對(dui)(dui)(dui)薄(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)厚(hou)度測(ce)(ce)量(liang)(liang)。長(chang)寧區高(gao)頻膜(mo)厚(hou)儀

白光干涉膜厚(hou)測量技術的精度可(ke)以達到(dao)納米(mi)級別。潛江膜厚(hou)儀主要(yao)功能與優勢

論文(wen)主要(yao)以半導體(ti)鍺(zang)和(he)貴(gui)金屬(shu)金兩(liang)種材料為(wei)(wei)對象，研究了白光(guang)干(gan)涉(she)(she)法(fa)(fa)、表面(mian)(mian)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)共振法(fa)(fa)和(he)外(wai)差干(gan)涉(she)(she)法(fa)(fa)實現納米級(ji)薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度(du)(du)(du)準確(que)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)可行性。由于(yu)不(bu)(bu)同材料薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)特性不(bu)(bu)同，所適用的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)(fa)也不(bu)(bu)同。半導體(ti)鍺(zang)膜(mo)(mo)具有折射率高，在通信波段（1550nm附近）不(bu)(bu)透明的(de)(de)(de)特點，選擇采用白光(guang)干(gan)涉(she)(she)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)(fa)；而厚(hou)度(du)(du)(du)更薄(bo)的(de)(de)(de)金膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)折射率為(wei)(wei)復數，且能激(ji)發明顯(xian)的(de)(de)(de)表面(mian)(mian)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)效(xiao)應，因而可借助基于(yu)表面(mian)(mian)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)共振的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)(fa)；為(wei)(wei)了進(jin)一步改善測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)精度(du)(du)(du)，論文(wen)還研究了外(wai)差干(gan)涉(she)(she)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)法(fa)(fa)，通過引(yin)入高精度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)相位解調手段，檢測(ce)(ce)(ce)P光(guang)與S光(guang)之(zhi)間的(de)(de)(de)相位差提(ti)升厚(hou)度(du)(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)精度(du)(du)(du)。潛(qian)江膜(mo)(mo)厚(hou)儀(yi)主要(yao)功(gong)能與優勢

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