探針(zhen)臺(tai)是(shi)半導體(ti)行(xing)(xing)業重要(yao)(yao)的(de)(de)(de)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)裝備(bei)之一，其(qi)普遍應用(yong)(yong)(yong)于復(fu)雜、 高(gao)速器(qi)(qi)件的(de)(de)(de)精密電(dian)氣測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)，旨在確保質量(liang)及可(ke)靠性，并縮減研發(fa)(fa)時間和器(qi)(qi)件制(zhi)造工藝(yi)的(de)(de)(de)成(cheng)本。半導體(ti)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)可(ke)以(yi)按(an)生產流程可(ke)以(yi)分為三類：驗(yan)證(zheng)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)、晶(jing)圓(yuan)(yuan)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)、封裝檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)。探針(zhen)臺(tai)主要(yao)(yao)用(yong)(yong)(yong)于晶(jing)圓(yuan)(yuan)制(zhi)造環節(jie)的(de)(de)(de)晶(jing)圓(yuan)(yuan)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)、芯(xin)片(pian)研發(fa)(fa)和故障分析等(deng)應用(yong)(yong)(yong)。除探針(zhen)臺(tai)外，晶(jing)圓(yuan)(yuan)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)環節(jie)還(huan)需要(yao)(yao)使(shi)用(yong)(yong)(yong)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)儀/機(ji)，測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)儀/機(ji)用(yong)(yong)(yong)于檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)芯(xin)片(pian)功能(neng)和性能(neng)，探針(zhen)臺(tai)實(shi)現被測(ce)(ce)(ce)(ce)芯(xin)片(pian)與測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)機(ji)的(de)(de)(de)連接(jie)，通過(guo)探針(zhen)臺(tai)和測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)機(ji)的(de)(de)(de)配合使(shi)用(yong)(yong)(yong)，可(ke)以(yi)對(dui)晶(jing)圓(yuan)(yuan)上的(de)(de)(de)裸芯(xin)片(pian)進(jin)行(xing)(xing)功能(neng)和電(dian)參(can)數測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)或射頻測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)，可(ke)以(yi)對(dui)芯(xin)片(pian)的(de)(de)(de)良品(pin)、不良品(pin)的(de)(de)(de)進(jin)行(xing)(xing)篩選。探針(zhen)臺(tai)建設需要(yao)(yao)綜合考(kao)慮技(ji)術、人力(li)、資金等(deng)眾(zhong)多因素。吉(ji)林探針(zhen)臺(tai)工作(zuo)原理(li)

手(shou)(shou)動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)作原(yuan)理(li)及應(ying)用范(fan)圍(wei)。工(gong)(gong)作原(yuan)理(li)：手(shou)(shou)動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺是普(pu)遍應(ying)用于(yu)半導(dao)體行業的(de)(de)(de)(de)(de)(de)綜(zong)合經濟型(xing)測(ce)試(shi)儀器，主要(yao)(yao)用于(yu)半導(dao)體芯片(pian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)參數(shu)(shu)檢測(ce)。手(shou)(shou)動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺是通過兩根探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)以及吸片(pian)盤(pan)夠成(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)回(hui)路(lu)以及相應(ying)大型(xing)電(dian)(dian)參數(shu)(shu)測(ce)試(shi)儀對(dui)(dui)芯片(pian)中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)進(jin)行檢測(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。應(ying)用范(fan)圍(wei)：手(shou)(shou)動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺主要(yao)(yao)用于(yu)對(dui)(dui)生產(chan)及科研中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)、三極(ji)管(guan)、二極(ji)管(guan)、可(ke)控硅及敏感元件管(guan)芯的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)壓、電(dian)(dian)流、電(dian)(dian)阻等參數(shu)(shu)進(jin)行手(shou)(shou)動測(ce)試(shi)。晶圓測(ce)試(shi)過程(cheng)中溫度(du)在低(di)溫和高溫中變換，因為(wei)熱脹冷縮(suo)現象，定位(wei)(wei)好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)與器件電(dian)(dian)極(ji)間會有(you)相對(dui)(dui)位(wei)(wei)移，這時需要(yao)(yao)針(zhen)(zhen)座的(de)(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)新(xin)定位(wei)(wei)，針(zhen)(zhen)座位(wei)(wei)于(yu)腔體外部。我們也(ye)可(ke)以選(xuan)擇(ze)使用操作桿(gan)控制的(de)(de)(de)(de)(de)(de)自動化(hua)針(zhen)(zhen)座來調整探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)置。北京小型(xing)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺參考價(jia)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺是人(ren)類(lei)理(li)解宇宙和了(le)解人(ren)類(lei)自身的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)個重(zhong)要(yao)(yao)工(gong)(gong)具。

平面(mian)(mian)電(dian)機(ji)(ji)x-y步進(jin)(jin)(jin)工作臺(tai)的(de)(de)(de)維(wei)護與保養，平面(mian)(mian)電(dian)機(ji)(ji)由定子(zi)(zi)(zi)和(he)動(dong)子(zi)(zi)(zi)組成，它和(he)傳統的(de)(de)(de)步進(jin)(jin)(jin)電(dian)機(ji)(ji)相(xiang)比其特殊性就是(shi)將定子(zi)(zi)(zi)展開(kai)，定子(zi)(zi)(zi)是(shi)基礎平臺(tai)， 動(dong)子(zi)(zi)(zi)和(he)定子(zi)(zi)(zi)間(jian)有一(yi)層(ceng)氣(qi)墊，動(dong)子(zi)(zi)(zi)浮于(yu)氣(qi)墊上，而可(ke)編(bian)程(cheng)(cheng)承(cheng)片臺(tai)則(ze)(ze)安裝在動(dong)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)上。這(zhe)種結構的(de)(de)(de)x-y工作臺(tai)，由于(yu)動(dong)子(zi)(zi)(zi)和(he)定子(zi)(zi)(zi)間(jian)無(wu)相(xiang)對摩擦故無(wu)磨損，使用(yong)(yong)壽命(ming)長。而定子(zi)(zi)(zi)在加(jia)工過(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)生產廠家根(gen)據不(bu)同的(de)(de)(de)設計(ji)要求如分辨力(li)等，用(yong)(yong)機(ji)(ji)加(jia)工的(de)(de)(de)方法在一(yi)平面(mian)(mian)的(de)(de)(de)鐵制鑄件(jian)上加(jia)工出若干(gan)個線槽，線槽間(jian)的(de)(de)(de)距(ju)離即稱為(wei)平面(mian)(mian)電(dian)機(ji)(ji)的(de)(de)(de)齒距(ju)，而定子(zi)(zi)(zi)則(ze)(ze)按不(bu)同的(de)(de)(de)細分控制方式，按編(bian)制好(hao)的(de)(de)(de)運行程(cheng)(cheng)序(xu)借助(zhu)于(yu)平面(mian)(mian)定子(zi)(zi)(zi)和(he)動(dong)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)氣(qi)墊才能實現步進(jin)(jin)(jin)運動(dong)。對定子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)損傷(shang)將直接影(ying)響(xiang)工作臺(tai)的(de)(de)(de)步進(jin)(jin)(jin)精度及設備使用(yong)(yong)壽命(ming)，損壞嚴(yan)重將造成設備無(wu)法使用(yong)(yong)而報廢。

探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)x-y工(gong)(gong)作臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)的(de)分類(lei)(lei)，縱觀(guan)國(guo)(guo)內(nei)外的(de)自(zi)動(dong)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)在功能及組成上(shang)大同小異，即(ji)主要由x-y向工(gong)(gong)作臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)，可編程承片臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)、探(tan)(tan)(tan)卡/探(tan)(tan)(tan)卡支架、打點器、探(tan)(tan)(tan)邊(bian)器、操作手柄等組成，并配有與測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)儀(TESTER)相連的(de)通訊接口。但如果按其x-y工(gong)(gong)作臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)結構(gou)(gou)的(de)不(bu)同可為兩大類(lei)(lei)，即(ji):以美國(guo)(guo)EG公司為表示的(de)平面(mian)電機型x-y工(gong)(gong)作臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)(又叫(jiao)磁性氣浮工(gong)(gong)作臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai))自(zi)動(dong)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)和(he)以日本及歐洲國(guo)(guo)家生(sheng)產的(de)采(cai)用精密滾珠(zhu)絲(si)杠副(fu)和(he)直線導軌(gui)結構(gou)(gou)的(de)x-y工(gong)(gong)作臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)型自(zi)動(dong)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)。由于x-y工(gong)(gong)作臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)的(de)結構(gou)(gou)差(cha)別很大，所(suo)以其使用維護保(bao)養不(bu)可一概而論，應(ying)區別對待(dai)。探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)(tai)(tai)可以幫助科學家研究和(he)觀(guan)測(ce)(ce)(ce)(ce)太陽系、銀河系乃至更遠的(de)星際空間(jian)。

手(shou)(shou)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺系統顧名思義是(shi)手(shou)(shou)動(dong)(dong)控制的(de)(de)(de)，這意味著(zhu)晶(jing)圓(yuan)載物(wu)臺、顯微鏡以(yi)及(ji)定位器(qi)/操縱器(qi)都(dou)是(shi)由使(shi)(shi)用者(zhe)手(shou)(shou)動(dong)(dong)移動(dong)(dong)的(de)(de)(de)。因此一(yi)般(ban)是(shi)在沒有很多待測器(qi)件(jian)(jian)需(xu)要(yao)測量或數據需(xu)要(yao)收集(ji)的(de)(de)(de)情況下使(shi)(shi)用手(shou)(shou)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺。該類探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺的(de)(de)(de)優點(dian)之一(yi)是(shi)只需(xu)要(yao)較少的(de)(de)(de)培(pei)訓，易于配置環境和(he)(he)轉(zhuan)換測試環境，并(bing)且不需(xu)要(yao)涉及(ji)額(e)外培(pei)訓和(he)(he)設(she)置時間的(de)(de)(de)電子(zi)設(she)備、PC或軟件(jian)(jian)。由于其靈活和(he)(he)可(ke)變性(xing)高的(de)(de)(de)特點(dian)，非常適合研發人員使(shi)(shi)用。全自(zi)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺相比(bi)上述兩(liang)種添加了(le)晶(jing)圓(yuan)材料處(chu)理搬(ban)運單(dan)元(yuan)（MHU）和(he)(he)模式識別（自(zi)動(dong)(dong)對準）。負(fu)責晶(jing)圓(yuan)的(de)(de)(de)輸送(song)與定位，使(shi)(shi)晶(jing)圓(yuan)上的(de)(de)(de)晶(jing)粒依次(ci)與探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)接觸并(bing)逐個測試。可(ke)以(yi)24小時連續工作，通(tong)常用于芯片量產或有一(yi)些特殊要(yao)求如處(chu)理薄晶(jing)圓(yuan)、封(feng)裝基板等。全自(zi)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺價格也是(shi)遠比(bi)手(shou)(shou)動(dong)(dong)/半自(zi)動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺要(yao)昂(ang)貴。探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺能夠捕(bu)捉到宇(yu)宙中不同能量和(he)(he)波長的(de)(de)(de)輻(fu)射線，并(bing)運用檔次(ci)高技術解析這些信息。真空(kong)溫控探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺廠家現貨

探針臺(tai)的建設需要克(ke)服很(hen)多技術難題。吉林探針臺(tai)工作原理

半自(zi)動(dong)型(xing)，chuck尺(chi)寸800mm/600mm，X,Y電(dian)動(dong)移(yi)(yi)動(dong)行程200mm/150mm，chuck粗調(diao)升(sheng)降(jiang)9mm，微(wei)(wei)調(diao)升(sheng)降(jiang)16mm，可(ke)搭(da)配MITUTOYO金相(xiang)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)或者AEC實體(ti)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)，針(zhen)座擺(bai)放(fang)個數6～8顆(ke)(ke)，顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)X-Y-Z移(yi)(yi)動(dong)范圍2"x2"x2"，可(ke)搭(da)配Probe card測(ce)試，適(shi)用領域(yu)：8寸/6寸Wafer、IC測(ce)試之產品。電(dian)動(dong)型(xing)：chuck尺(chi)寸1200mm，平坦度(du)土(tu)1u（不銹(xiu)鋼或鍍(du)金），X,Y電(dian)動(dong)移(yi)(yi)動(dong)行程300mm x 300mm，chuck粗調(diao)升(sheng)降(jiang)9mm，微(wei)(wei)調(diao)升(sheng)降(jiang)16mm，微(wei)(wei)調(diao)精度(du)土(tu)1u，可(ke)搭(da)配MITUTOYO晶像(xiang)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)或者AEC實體(ti)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)，針(zhen)座擺(bai)放(fang)個數8～12顆(ke)(ke)，顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡(jing)X-Y-Z移(yi)(yi)動(dong)范圍2“x2”x2“，材(cai)質：花崗巖臺面+不銹(xiu)鋼，可(ke)搭(da)配Probe card測(ce)試，適(shi)用領域(yu)：12寸Wafer、IC測(ce)試之產品。吉林(lin)探針(zhen)臺工(gong)作原理(li)

本文來自沈陽喜納多采(cai)暖(nuan)工程有(you)限公(gong)司：//zjlong.cn/Article/32e399849.html